技術(shù)參數(shù)(機(jī)械部分)
XY掃描器:100μm×100μm(閉環(huán)),可選配200μm×200μm(閉環(huán))
Z掃描器:12μm (可選配25μm)
水平度:100μm線掃描垂直偏差不超過(guò)±2nm
XY和Z掃描器的正交性:1.0°
樣品臺(tái)移動(dòng)范圍:25mm×25mm(X/Y),27.5mm (Z)
樣品尺寸:100mm×100mm
光學(xué)觀察:垂直光路設(shè)計(jì),可直接觀察微懸臂和樣品
技術(shù)參數(shù)(電子部分)
微處理器:600MHz,4800MIPS DSP
模數(shù)/數(shù)模:16bit,500kHz采樣頻率
圖像采集:同步自動(dòng)采集16幅圖像,分辨率高達(dá)4096×4096像素
通訊方式:采用基于TCP/IP協(xié)議的通訊方式與計(jì)算機(jī)聯(lián)接
符合CE認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)
| 招標(biāo)產(chǎn)品 | 品牌/型號(hào) | 招標(biāo)單位 | 中標(biāo)單位 | 中標(biāo)價(jià)格 | 中標(biāo)日期 |