編輯日期：2026-04-14

技術(shù)參數(shù)(機械部分)：

1.  XY掃描器：100μm×100μm（閉環(huán)），可選配200μm×200 μm

2.  Z掃描器：12μm (可選配25μm)

3.  水平度：50μm線掃描垂直偏差不超過2nm

4.  XY和Z掃描器的正交性：1.0°

5.  樣品臺移動范圍：200mm×200mm（X/Y），27.5mm (Z)

6.  樣品尺寸：200mm×200mm

7.  光學觀察：垂直光路設(shè)計，可直接觀察微懸臂和樣品

技術(shù)參數(shù)(電子部分)

1. 微處理器：600MHz，4800MIPS DSP

2. 模數(shù)/數(shù)模：16位，500kHz采樣頻率

3. 圖像采集：同步自動采集16幅圖像，分辨率高達4096×4096像素

4. 通訊方式：采用基于TCP/IP協(xié)議的通訊方式與計算機聯(lián)接

5. 符合CE認證標準

標準工作模式：

. 真正非接觸模式(True non-contact mode)

. 接觸模式(contact mode)

.  相位模式(phase imaging)

. 橫向力模式(LFM)

擴展工作模式：

. 力測量（Force measurements）

. 導電（Conductive AFM）

. 電力（Electric Force）

. 電子 (Electrical)

. 磁性 (Magnetical)

. 機械 (Mechanical)

. 熱 (Thermal)