特點
? 采用高精度氣浮軸承線性導軌系統(tǒng),從而將直線度誤差減少到*小。
? 采用分辨率為0.01mm 的玻璃光柵尺,此玻璃光柵尺由位于地下11 米處的高精密工 廠制造。
? 通過使用虛擬零度熱膨脹的玻璃光柵尺,將溫度變化對精度的影響減少到*低。
? 使用有限元方法(Finite Element Method) 分析優(yōu)化主機的機械結構。
? 穩(wěn)定的幾何精度(如:每個軸的直線度和垂直度) 以降低熱效應影響。
| 招標產品 | 品牌/型號 | 招標單位 | 中標單位 | 中標價格 | 中標日期 |