飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 是**的集成化成像分析系統(tǒng)。借助該系統(tǒng),既可觀察樣品的表面形貌,又可分析其元素組分。
研究樣品時(shí),得到樣品的形貌信息只是解決了一半問(wèn)題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常**要的。借助**集成、特殊設(shè)計(jì)的能譜探測(cè)器,飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX可以完善解決上述所有問(wèn)題。
能譜儀是一種基于樣品被電子束激發(fā)而產(chǎn)生 X 射線的分析儀器。Phenom 的能譜儀無(wú)論軟件、硬件都是完全集成設(shè)計(jì)在飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX系統(tǒng)中。
Element Identification (EID) 軟件可以使用戶實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)分析,檢測(cè)樣品的元素組分。此外,該軟件還可以擴(kuò)展到元素分析線面掃(mapping)功能。分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導(dǎo)出分析數(shù)據(jù)。
Phenom ProX 電鏡能譜一體機(jī)具有飛納系列全自動(dòng)操作、15 秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、2-3 年更換燈絲等特點(diǎn),無(wú)需防震環(huán)境,可放置在任意樓層,能譜無(wú)外接部件,無(wú)需液氮冷卻。
主要參數(shù)
光學(xué)顯微鏡:放大20-135倍
電子顯微鏡:130,000倍
探測(cè)器:高靈敏度四分割背散射電子探測(cè)器
燈絲材料:1,500小時(shí)CeB6燈絲
分辨率:優(yōu)于14 nm
放置環(huán)境:采用專業(yè)防震設(shè)計(jì),可擺放于普通實(shí)驗(yàn)室或辦公室、廠房
加速電壓:5kV-15kV連續(xù)可調(diào)
抽真空時(shí)間:小于15秒
探測(cè)元素范圍:B(5)- Am(95)號(hào)元素
能譜探測(cè)器:硅漂移探測(cè)器(SDD)
冷卻方式:無(wú)液氮 Peltier 效應(yīng)電制冷
能量分辨率:<137eV(MnKaα)
探測(cè)器晶體活性面積:25mm2
Phenom ProX電鏡能譜一體機(jī)可選配所有的樣品杯選件和所有的拓展功能軟件選件。
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