編輯日期：2026-04-14

詳細(xì)描述:  

儀器適用范圍： 

伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展，我國半導(dǎo)體圓晶生產(chǎn)已從較小的尺寸發(fā)展到現(xiàn)在的8英寸（200mm），MA3000就是為了適應(yīng)大芯片檢測而開發(fā)的新產(chǎn)品。MA3000配備反射照明光學(xué)系統(tǒng)，反射式暗場和偏光系統(tǒng)，使它可用在相同尺寸的半導(dǎo)體掩模板，液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗(yàn)場合。 

儀器特性： 

1. l 200mmX200mm帶快速離合器大行程載物臺 

2. l 視場數(shù)∮22mm無限遠(yuǎn)校正像差超長工作距離平場消色差物鏡 

3. l 落射光明場、暗場及偏光可快速轉(zhuǎn)換 

4. l 機(jī)架經(jīng)計(jì)算機(jī)《有限元》分析處理，有高穩(wěn)定性及抗振性 

5. l 軸承鋼淬火后精密加工的滾柱導(dǎo)軌，使儀器具有穩(wěn)定的使用精度及高的可靠性 

6. l 采用人機(jī)工程學(xué)的設(shè)計(jì)理念，調(diào)焦手輪前置，使之操作舒適。 

高質(zhì)量的光學(xué)系統(tǒng)，確保儀器在對各試樣檢驗(yàn)時均能獲得良好的成像質(zhì)量。 

無限遠(yuǎn)校正像差長距平場消色差物鏡 

MA3000配用了本公司*新開發(fā)的視場數(shù) 22mm無限遠(yuǎn)校正像差超長工作距離平場消色差系列物鏡。對各種被檢測的試樣均能獲得優(yōu)良的成像質(zhì)量。物鏡的超長工作距離，可避免物鏡與試樣相碰而損傷試樣或物鏡 

在反射照明光路中，明場、暗場和偏光可快速轉(zhuǎn)換 

MA3000配有明場和暗場共用的物鏡，只要拉動拉桿，即可明場暗場轉(zhuǎn)換；只需插入或拉出起偏器和檢偏器，即可偏光轉(zhuǎn)換，操作**方便。 

采用完善的柯拉照明系統(tǒng) 

MA3000采用完善的柯拉照明系統(tǒng)，在整個視場內(nèi)照明均勻。