編輯日期：2026-04-14

MX61A是一款專門設計的半導體顯微鏡，可使操作人員以正確的人體工程學姿勢進行操作，有利于操作人員在長時間的工作中順利進行檢測，保證了工作的效率和產品一體化。

為用戶提供*高的效率

滿足客戶需求是奧林巴斯的**要務。

正是牢記這一點，奧林巴斯所提供的顯微鏡解決方案讓工業(yè)檢查變得更輕松、更便捷、更**。同時，當將顯微鏡成功集成應用到生產線上，操作舒適性等人體工程學問題與晶圓**問題就顯得尤為重要，我們注重解決此類問題。奧林巴斯始終為半導體晶圓、平板顯示器和電子設備等在內的多個行業(yè)，提供新構思、解決方案和技術支持。（來源：成貫儀器）

MX61A

適合檢查300mm樣品的電動控制式顯微鏡。搭載了奧林巴斯Stream軟件，可電動控制觀察模式、照明強度、物鏡、孔徑光闌和載物臺移動（可選）。主動式激光自對焦功能提高了檢查精度和速度。

MX61A——自動化解決方案

滿足對自動化的需求

自動化控制陣容

MX61A提供了以下自動化控制功能：

?觀察模式

?Z軸對焦

?物鏡倍率

?孔徑光闌

?照明強度

?硬件自動對焦（選配）

?DIC 棱鏡調節(jié)（選配）

?掃描臺控制（選配）

奧林巴斯的Stream軟件不僅能夠控制顯微鏡的基本操作，如活動圖像預覽和圖像抓取等，通過屏幕上軟件的調節(jié)還可以控制諸如自動對焦及進行DIC棱鏡調節(jié)等更為復雜的操作。（來源：成貫儀器）

主動式激光自動對焦

奧林巴斯全自動半導體檢查顯微鏡 MX61A配備了主動式激光自動對焦裝置，能夠提高檢查精度和速度。多點傳感器可**試樣表面垂直不平整度帶來的影響，顯著提高穩(wěn)定性，為您提供更快速、更具可再現(xiàn)性的結果。

易于使用的自動對焦控制功能

先進的軟件集成

奧林巴斯Stream軟件與200mm或300mm的電動掃描臺一起使用時，操作員能夠很輕松地拼接單個視場外的多個圖像，進一步擴展了圖像采集和分析的可能性。

電動掃描臺的直覺式控制

用于觸摸控制的手持控制器

奧林巴斯全自動半導體檢查顯微鏡MX61A通過這款符合人體工程學原理的手持控制器，操作員可使用按鈕控制顯微鏡的多項電動功能，例如選擇物鏡和觀察方法等。此外，操作員還可在“跟蹤”和“單次對焦”之間切換自動對焦裝置的工作模式，進行手動微調焦、微分干涉棱鏡的延遲位置調節(jié)、控制光照強度、降低載物臺以更換樣品等。（來源：成貫儀器）

通過手持控制器，使用按鈕操作顯微鏡

觀察影像實例

明視場觀察      暗視場觀察      微分干涉觀察

熒光觀察      近紅外線觀察（左）和可見光線觀察（右）的比較

提供擴展性的解決方案

提供擴展性的解決方案

適應分析需求的Analysis-Engine（分析引擎）模塊

"顯微鏡控制軟件"作為核心對MX61A系統(tǒng)全體進行控制。這個應用靈活的軟件不僅能控制顯微鏡，還能控制數碼照相機、電動載物臺等外圍設備。軟件進一步拓展了MX61A的擴張性，滿足了不斷變化的分析需求。

實現(xiàn)對人和環(huán)境都沒有危害的自動化

符合SEMI　S2/S8標準（來源：成貫儀器）

符合SEMI（SemiconductorEquipment and Materials International）S2-0706（有關**的基準），S8-0705（有關人體工程學的基準）和CE標識（歐洲強制性認證）等的國際標準。符合人體工程學和**對策等，高水準的確保了可靠性。

可選的傾斜觀察筒

傾斜觀察筒示意圖

備有2種能以舒適姿勢觀察的傾斜鏡筒。可以根據用途選擇雙目部傾斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的MX-SWETTR型號，或是目視和拍攝影像可同時觀察的U-SWETTR-5型號。

潔凈對應的電動物鏡轉換器

潔凈對應的電動物鏡轉換器

備有兩種堅固耐用的潔凈型電動物鏡轉換器。
6孔和5孔中心補正型號的明暗視場電動物鏡轉換器，采用了新型馬達，實現(xiàn)了高速安靜的倍率轉換。

高抗振本體

高倍率觀察圖像示意圖

采用了不易受振動影響的高度剛性儀器機架。即便是高倍率觀察，也不會出現(xiàn)影像模糊的情況。

幫助實現(xiàn)多種觀察的附件

晶圓搬送機組合

晶圓搬送機

可以對應直徑200 mm及以下的晶圓。新型搬送手臂的采用，實現(xiàn)了對90 μm極薄晶圓的搬送，能滿足多種尺寸晶圓搬送的需求。（來源：成貫儀器）

自動載物臺組合

自動載物臺

備有對應300mm/200mm晶圓的高精度電動載物臺。通過PC控制，可以實現(xiàn)**檢查、不良分析功能。