編輯日期：2026-04-14

MX61L/ MX61, 300mm/200 mm半導(dǎo)體檢查顯微鏡通過(guò)各種觀察方法--明視場(chǎng)法、暗視場(chǎng)法、微分干涉法（DIC）、熒光法、紅外線法和深紫外線法，保證了**的圖像分辨率和鮮明度。

為用戶提供*高的效率

滿足客戶需求是奧林巴斯的**要?jiǎng)?wù)。

正是牢記這一點(diǎn)，奧林巴斯所提供的顯微鏡解決方案讓工業(yè)檢查變得更輕松、更便捷、更**。同時(shí)，當(dāng)將顯微鏡成功集成應(yīng)用到生產(chǎn)線上，操作舒適性等人體工程學(xué)問(wèn)題與晶圓**問(wèn)題就顯得尤為重要，我們注重解決此類問(wèn)題。奧林巴斯始終為半導(dǎo)體晶圓、平板顯示器和電子設(shè)備等在內(nèi)的多個(gè)行業(yè)，提供新構(gòu)思、解決方案和技術(shù)支持。

MX61

半導(dǎo)體晶圓檢查顯微鏡（*大200mm)，這款顯微鏡的孔徑光闌與物鏡相互聯(lián)鎖，能夠快速、精確地完成檢查。設(shè)計(jì)符合人體工程學(xué)原理，使用起來(lái)舒適、自如。符合SEMI S2/S8，擁有**性與可靠性雙重保障。（來(lái)源：成貫儀器）

MX61L

這款顯微鏡用于檢查大尺寸樣品，例如300mm的半導(dǎo)體晶圓或17英寸的平板顯示器。采用了離合器驅(qū)動(dòng)的手動(dòng)XY載物臺(tái)，在反射光照明模式下，操作員可在356mm x 305mm的范圍內(nèi)移動(dòng)載物臺(tái)；在透射光照明模式下，操作員可在356mmx 284mm的范圍內(nèi)移動(dòng)載物臺(tái)。

MX61系列——半導(dǎo)體晶圓與平板顯示器檢查顯微鏡

專為無(wú)塵室生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)

擁有多項(xiàng)專門設(shè)計(jì)的性能，以符合無(wú)塵室要求

所有電動(dòng)部件均被封閉在一個(gè)屏蔽結(jié)構(gòu)內(nèi)，而且制造材料均具有出色的耐磨性，能夠完全滿足無(wú)塵室要求。 MX61系列顯微鏡*大可檢查尺寸為200mm的晶圓，而MX61L*大則可檢查300mm的晶圓，兩款具有同樣小的占地空間，可減少空間分配需求。

防靜電保護(hù)功能，防止晶圓污染

顯微鏡機(jī)身、鏡筒、呼吸罩及其他部件全部采用防靜電工藝加工而成，以防止污染晶圓。

防靜電呼吸罩

符合SEMI S2/S8，確保**性和可靠性

MX61系列顯微鏡完全符合SEMI S2/S8、CE和UL等多項(xiàng)國(guó)際規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)。

多種晶圓托架，易于調(diào)節(jié)，可適合不同尺寸的樣品

晶圓托架和玻璃臺(tái)板有150-200mm和200-300mm*1多種規(guī)格可供用戶選擇。若生產(chǎn)線所加工晶圓的尺寸發(fā)生變化，僅需以極低的成本改造機(jī)身框架即可。MX61系列顯微鏡有多款載物臺(tái)可以選用，以對(duì)生產(chǎn)線上生產(chǎn)的75mm、100mm、125mm和150mm的晶圓進(jìn)行檢查。

晶圓托架和玻璃臺(tái)板

晶圓裝卸**、快速，有效提高產(chǎn)能*2

MX61顯微鏡可搭載選配的晶圓自動(dòng)搬送機(jī)，以將硅晶圓和化合物半導(dǎo)體晶圓從晶圓匣搬送**顯微鏡載物臺(tái)，無(wú)需再使用鑷子夾持。**公認(rèn)的出色性能和可靠性，能夠**、**地對(duì)晶圓正面和背面進(jìn)行宏觀檢查和微觀檢查，可有效提高工廠的產(chǎn)量和生產(chǎn)率。而且這款顯微鏡的設(shè)計(jì)符合人體工程學(xué)原理，使用起來(lái)舒適、便捷。（來(lái)源：成貫儀器）

MX61與AL120型晶圓搬送機(jī)(200mm 型)*3結(jié)合使用

MX61 系列——符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)

使用起來(lái)方便、舒適、**

控制器設(shè)計(jì)符合人體工程學(xué)原理，使用起來(lái)更便捷、更舒適

物鏡轉(zhuǎn)換和AS（孔徑光闌）調(diào)節(jié)按鈕均位于顯微鏡的前下方。這種設(shè)計(jì)不僅使用起來(lái)更加方便、舒適，而且用戶在使用時(shí)，無(wú)需讓手松開調(diào)焦旋鈕或?qū)⒀劬﹄x開目鏡。

在中間位置操作顯微鏡

通過(guò)自動(dòng)化孔徑控制，優(yōu)化對(duì)比度

電動(dòng)孔徑光闌與物鏡聯(lián)鎖，可根據(jù)所使用的物鏡自動(dòng)調(diào)節(jié)。這樣，在各個(gè)放大倍率下均可得到*優(yōu)化的成像質(zhì)量，使得在常規(guī)檢查中眼睛感覺(jué)更加舒適，工作效率更高。

電動(dòng)孔徑光闌

離合器驅(qū)動(dòng)式手動(dòng)XY載物臺(tái)

奧林巴斯半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡MX61L/MX61有兩款高精度載物臺(tái)可供選用：一款適合尺寸不超過(guò)300mm的晶圓和17英寸的面板；另一款適合尺寸不超過(guò)200mm的晶圓。手動(dòng)XY載物臺(tái)通過(guò)內(nèi)嵌的離合器機(jī)構(gòu)和XY調(diào)節(jié)手柄，可粗調(diào)和微調(diào)載物臺(tái)位置。使用離合裝置，操作員可在觀察中自由移動(dòng)載物臺(tái)，提高整體效率。這樣，可在使用目鏡觀察的過(guò)程中，不受限制地移動(dòng)載物臺(tái)，使得觀察速度更快，操作更舒適。

通過(guò)內(nèi)嵌離合裝置，快速操作載物臺(tái)手柄

電動(dòng)式物鏡轉(zhuǎn)盤提高觀察速度

電動(dòng)式物鏡轉(zhuǎn)盤比手動(dòng)式物鏡速度更快、更**，可在滿足無(wú)塵室要求的同時(shí)，縮短檢查所需時(shí)間。奧林巴斯根據(jù)您所需的檢查方法，為您提供了三種控制方法，通過(guò)軟件控制、機(jī)身按鈕控制或通過(guò)獨(dú)立的手持控制器控制。（來(lái)源：成貫儀器）

電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤

靈活的觀察姿勢(shì)

不斷調(diào)節(jié)椅子高度進(jìn)行觀察和不自然的觀察姿勢(shì)是導(dǎo)致工作速度減慢的諸多不便因素中的兩種。 考慮到這一點(diǎn)，MX61系列顯微鏡采用了可調(diào)傾斜角度式觀察筒，鏡筒可在0°** 42°范圍內(nèi)調(diào)節(jié)（可調(diào)高度：150 mm）。 這樣，不管身高如何，操作員都可找到自己*舒適的姿勢(shì)，而且可以站著觀察。此外，光軸與目鏡之間有足夠長(zhǎng)的距離，即使是大規(guī)格載物臺(tái)，也可輕松操作。（來(lái)源：成貫儀器）

可調(diào)傾角式三目鏡筒，工作時(shí)姿勢(shì)更舒適

易于切換不同的觀察方法

MX61/MX61L系列顯微鏡的明視場(chǎng)和暗視場(chǎng)觀察模式可通過(guò)一個(gè)拉桿快速切換，同時(shí)還帶有一個(gè)選配的分光鏡組件。此外，MPLFLN-明視場(chǎng)和暗視場(chǎng)系列物鏡在DIC觀察下，無(wú)需進(jìn)行棱鏡位置切換。透射光照明單元可加裝到這兩款顯微鏡的機(jī)身，以能夠在FPD檢查所需的透射照明中，進(jìn)行偏振光觀察。（來(lái)源：成貫儀器）

易于切換不同的觀察方法

MX61 系列顯微鏡——優(yōu)異的成像清晰度與高分辨率

光學(xué)元件專門針對(duì)您的特定用途設(shè)計(jì)

先進(jìn)的光學(xué)性能，滿足缺陷檢測(cè)需求

奧林巴斯先進(jìn)的UIS2光學(xué)系統(tǒng)可為常規(guī)檢查提供高襯度的明視場(chǎng)圖像，此外，在暗視場(chǎng)觀察中，能夠快速發(fā)現(xiàn)之前明視場(chǎng)檢查中可能被忽略的細(xì)小劃痕。

明視場(chǎng)圖像                      暗視場(chǎng)圖像

可針對(duì)樣品不同表面狀態(tài)的各種微分干涉觀察法，提高缺陷檢查效果

操作人員可根據(jù)樣品的表面不平整度和反光特性，選擇三種不同的DIC棱鏡，即標(biāo)準(zhǔn)棱鏡、高分辨率棱鏡和高對(duì)比度棱鏡。因此，得到的圖像可具有*佳的對(duì)比度和分辨率，大大提高缺陷檢測(cè)能力。

標(biāo)準(zhǔn)DIC                         高對(duì)比度DIC

(硬盤表面)

同時(shí)使用反射照明和透射照明

在光掩膜或FPD檢查時(shí)，透射光可加入通用型聚光鏡或高數(shù)值孔徑聚光鏡。這兩種方法都支持簡(jiǎn)易偏振光法。此外，可同時(shí)使用反射光照明和透射光照明系統(tǒng)，且兩者的照明強(qiáng)度可以獨(dú)立調(diào)節(jié)。這種組合非常適合檢查半透明的器件。

LCD面板/透射光圖像

專用物鏡

奧林巴斯有兩個(gè)系列的物鏡（LMPLFLN系列和SLMPLN系列）適合焦面與物鏡之間需保持較大距離的觀測(cè)情況，通常適合觀測(cè)高度形狀不規(guī)則、結(jié)構(gòu)精密的樣品。此外，奧林巴斯還可為您提供用于各種專業(yè)用途的物鏡，例如，LCD檢查物鏡（LCPLFLN-LCD系列）。

LCPLFLN-LCD系列物鏡

熒光觀察

MX61系列顯微鏡通過(guò)加載分光鏡組件和高強(qiáng)度光源，還可進(jìn)行熒光觀察。 熒光觀察是檢查各種光刻殘留物和有機(jī)顆粒的理想方法。（來(lái)源：成貫儀器）

晶圓上的顆粒

近紅外（IR）觀察

奧林巴斯的專用物鏡可對(duì)硅和玻璃表面下方的特性和缺陷進(jìn)行近紅外(IR)成像。半導(dǎo)體和光伏行業(yè)采用這種近紅外成像功能，可進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)檢查、表面下方的污染物鑒別及進(jìn)行關(guān)鍵尺寸檢查。這些物鏡具有更高的數(shù)值孔徑，能夠提高近紅外圖像的分辨率和亮度。此外，20x、50x和100x 物鏡設(shè)計(jì)有一個(gè)校正環(huán)，能夠校正硅片和玻璃厚度導(dǎo)致的像差，提高整體對(duì)比度。（LMPLN-IR系列和LCPLN-IR系列）（來(lái)源：成貫儀器）

從晶圓背面觀察焊盤

軟件方案

實(shí)現(xiàn)數(shù)字成像

奧林巴斯半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡MX61L配備了PC界面，可以讀取顯微鏡的電動(dòng)功能。因此，捕獲影像時(shí)可以自動(dòng)保存物鏡倍率，為日后處理和分析影像提供可靠的影像信息。

使用數(shù)碼照相機(jī)記錄和保存數(shù)碼影像

三目鏡筒可以安裝數(shù)碼照相機(jī)?？梢员４婧陀涗洈?shù)碼影像，幫助創(chuàng)建觀察報(bào)告?？梢罁?jù)用途從圖像質(zhì)量、功能、使用方便性等方面選擇數(shù)碼照相機(jī)。