產(chǎn)品描述:
? **高精度XY 測量精度為(0.9+3L/1000)μm。
? 可選擇LAF (激光自動對焦) 功能。
? 良好的操作性能和重復(fù)精度。
? 三軸電動控制。
? 標(biāo)配電動自動聚焦裝置。