技術(shù)參數(shù)
原理:PCSA配置的自動(dòng)回零(Auto-Nulling)圖像橢圓光度法
橢圓光度分辨率:Delta/Psi精度 0.001 deg **精度 0.01 deg
立體分辨率:1-35μm(平面解析精度:1μm,縱向解析精度:1 nm)
激光器波長:532 nm(可選405/488/514/543/594/633/650/690/785/830/905nm)
靈敏度:0.05~0.2nm
解析時(shí)間:快,22×73mm在1.2μm精度下只需不到一分鐘的時(shí)間
圖像系統(tǒng):768 x 572像素CCD照相機(jī)
電子組件:
內(nèi)置基于Pentium芯片的控制器
帶Matrox Meteor II 抓圖器
內(nèi)置Linux操作系統(tǒng)
電源:電壓100-240 VAC, 50/60Hz *大電流10 A
| 招標(biāo)產(chǎn)品 | 品牌/型號 | 招標(biāo)單位 | 中標(biāo)單位 | 中標(biāo)價(jià)格 | 中標(biāo)日期 |