技術參數(shù)
原理 PCSA配置的自動回零(Auto-Nulling)圖像橢圓光度法
橢圓光度分辨率 Delta/Psi精度 0.001 deg **精度 0.01 deg(依賴于樣品與測量條件)
立體分辨率 1~35μm(平面解析精度:1μm,縱向解析精度:1 nm)
激光器波長 標準為: 532 nm 可選405, 488, 514, 543, 594, 633, 650, 690, 785, 830, 905, nm
靈敏度 0.05~0.2nm
解析時間 快,22×73mm在1.2μm精度下只需不到一分鐘的時間
圖像系統(tǒng) 768 x 572像素CCD照相機
電子組件 內(nèi)置基于Pentium芯片的控制器,帶Matrox Meteor II 抓圖器; 內(nèi)置Linux操作系統(tǒng);通過專用100M以太網(wǎng)與主機相連
電源 電壓:100 – 240 VAC, 50/60Hz *大電流: 10 A
| 招標產(chǎn)品 | 品牌/型號 | 招標單位 | 中標單位 | 中標價格 | 中標日期 |