準確成像,無交叉耦合誤差
業(yè)界**的XYZ軸線性度,樣品和探針分別由獨立的閉環(huán)掃描器控制
業(yè)內*低的平面偏移度,全掃描范圍水平線性誤差小于1nm
垂直掃描器全程伸縮線性度由于0.015%
優(yōu)化了水平掃描器的ring-ring現(xiàn)象,精準的正向sine-scan算法
準確掃描,真正的非接觸模式
Z軸伺服帶寬超過9kHz,響應速度大于62mm/s
非接觸模式下*快的掃描速度
極低的探針磨損,保證了長時間高質量掃描
極低的樣品損傷
準確測量,真正的樣品形貌
業(yè)內**的低噪音檢測器
業(yè)內**的正反測量偏離量,小于0.15%
優(yōu)化的散熱部件,極大降低了系統(tǒng)熱偏移
功能強大的隔音罩,艙體內部主動控溫
提高用戶工作效率
開放式樣品空間,樣品及探針更換極為方便
預對準探針安裝與同軸光路設計方便激光調整
**的十秒進針功能,探針高速自動完成進針
24為數(shù)字電控箱,3路內置鎖相放大器,具備Q-Control和彈性系數(shù)校正功能
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