主要特點:
1.具有超高分辨率 :1.0nm/15kV,1.6nm/1kV(減速模式)。
2.Super E x B技術用于控制SE/BSE信號檢測,實現(xiàn)**放電現(xiàn)象及信號混合。
3.具有“Semi-in-lens”和“out-lens”兩種物鏡模式,可實現(xiàn)高分辨和磁性樣品兩種觀察模式。
應用領域:
1.納米材料
2.金屬
3.半導體器件
4.EBSP分析