性能和特點：
采用主動參比技術(shù)，極大降低 了熱漂移；
(400 °C下，小于 10 nm/min )
獨特的材料設(shè)計，無熱膨脹；
兩套獨立的載荷位移傳感器；
采用熱量反射屏蔽罩設(shè)計及壓痕測量水循環(huán)冷卻系統(tǒng)；
高的框架剛度 (大于 10 8 N/m）；
集成真空腔，允許測試樣品的真空度可達到5 x 10 -7 mbar。

HT-UNHT超納米壓痕儀可選擇兩種不同范圍的加熱平臺。

載荷范圍   *大100 mN
載荷分辨率 0.001uN
加載速率   *大10’000 mN/min
保載時間   無限制
*大位移   100um
位移分辨率 0.0003 nm

400°C加熱臺                          
加熱速度: 0.1°C/min 到 90°C/min      
溫度穩(wěn)定性 : 小于0.1°C               
樣品尺寸: 25 mm圓盤    

200°C加熱臺
加熱速度: 0.1°C/min 到 90°C/min
溫度穩(wěn)定性 : 小于0.1°C
樣品尺寸: 25 mm x 50 mm