性能和特點(diǎn)：1、主動(dòng)參比測(cè)量設(shè)計(jì)實(shí)時(shí)扣除熱漂移等偽位移信號(hào) 
2、超低熱漂移
3、深度與載荷信號(hào)的電容傳感器測(cè)量
4、雙壓電加載裝置（更加可靠的設(shè)計(jì)）
5、雙載荷傳感器（閉環(huán)力反饋系統(tǒng)）
6、符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 和 ASTM
7、集成自動(dòng)光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)
8、帶有反饋系統(tǒng)的載荷加載裝置
9、儀器操作系統(tǒng)軟件包
10、可擴(kuò)展選項(xiàng)
11、真空或濕度環(huán)境控制
12、原子力顯微鏡
13、高分辨率工作臺(tái) (精度0.25微米)
14、高分辨率CCD光學(xué)顯微鏡
15、環(huán)境保護(hù)罩

技術(shù)參數(shù)：1、*小有效加載載荷： ?25uN
2、*大有效加載載荷 ?100mN
3、有效載荷分辨率 ?1nN
4、*小接觸力 ?100nN
5、*大壓痕深度 ?100um
6、位移分辨率 ?0.0003nm
7、位移信號(hào)噪聲水平 ?0.03nm
8、位移信號(hào)穩(wěn)定水平（或熱漂移） 0.008nm/sec
9、加載模式 高精度壓電驅(qū)動(dòng)加載
10、位移測(cè)量  電容傳感器
11、符合ISO 14577-1，2，3國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

加載模式：
線性加載，連續(xù)加載卸載，二次項(xiàng)加載，恒應(yīng)變速率加載，位移控制加載
正弦加載（DMA模式）：
能夠通過(guò)一次壓痕獲得接觸剛度、硬度和彈性模量隨壓痕深度的連續(xù)函數(shù)分布；
能夠測(cè)量材料的儲(chǔ)存模量、損耗模量和阻尼
能夠在壓入過(guò)程中通過(guò)反饋系統(tǒng)保持恒定的簡(jiǎn)諧位移振幅。
簡(jiǎn)諧力頻率范圍: 1Hz to 200Hz
XY 工作臺(tái)： 120 x 20 mm ，245 x 120 mm (OPX+)
XY 工作臺(tái)位移分辨率 ：0.25 μm ，0.10 μm (選件)
光學(xué)顯微鏡放大倍率： 200x, 4000x
光學(xué)顯微鏡攝像鏡頭： 彩色 768 x 582*