編輯日期：2026-03-30

性能和特點(diǎn):

該儀器采用白光軸向色差原理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對(duì)樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維測(cè)量,測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌,臺(tái)階高度,給MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽(yáng)能電池、膜厚、光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個(gè)精確的、價(jià)格合理的計(jì)量方案。

這款產(chǎn)品憑借其當(dāng)今***前端的技術(shù),迅速占領(lǐng)國(guó)內(nèi)外市場(chǎng),我們致力于為國(guó)內(nèi)外的研發(fā)機(jī)構(gòu)與工業(yè)用戶提供全套的測(cè)試技術(shù)解決方案,功能包括二維分析、三維分析、表面紋理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、體積、角度計(jì)算、曲率計(jì)算、模擬一維分析、數(shù)據(jù)輸出、數(shù)據(jù)自動(dòng)動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)、自定義數(shù)據(jù)顯示格式等。

超高的掃描速度:可達(dá)1m/s 

數(shù)據(jù)采集頻率:可達(dá)31KHz 

能保證超高平整度和穩(wěn)定性(花崗石平臺(tái)) 

**的閉合外形設(shè)計(jì) 

*大可掃描1m*1m的區(qū)域 

采用NANOVEA PRVision軟件實(shí)現(xiàn)自動(dòng)定位測(cè)量 

用于替代探針式輪廓儀和激光輪廓儀 

采用白光軸向色像差技術(shù),可獲得納米級(jí)的垂直分辨率 

測(cè)量具有非破壞性,測(cè)量速度快,精確度高 

測(cè)量范圍廣,可測(cè)透明、半透明、低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…) 

不受環(huán)境光的影響 

不受樣品反射率的影響 

適合測(cè)量高坡度(85o)的表面 

樣品無(wú)需特殊處理 

Z方向*大測(cè)量范圍為27mm

技術(shù)參數(shù):

垂直測(cè)量范圍:27mm 

垂直分辨率:2nm 

X-Y掃描速度:1m/s 

橫向X-Y軸分辨率:5nm 

掃描范圍(XYZ):400*600*50mm