編輯日期：2026-03-30

性能和特點(diǎn):

該儀器采用白光軸向色差原理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維測量,測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌,臺階高度,給MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料,光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個(gè)精確的、價(jià)格合理的計(jì)量方案

1 采用白光軸向色像差技術(shù),可獲得納米級的分辨率

2 測量具有非破壞性,測量速度快,精確度高

3 測量范圍廣,可測透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…);

4 尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面

5 不受樣品反射率的影響

6 不受環(huán)境光的影響

7 測量簡單,樣品無需特殊處理

8 Z方向*大測量范圍為27mm

技術(shù)參數(shù):

垂直測量范圍:27mm

垂直分辨率:<2nm

掃描速度 1m/s

橫向分辨率:5nm

測量范圍: 400*600mm